集成电路工艺过程中产生的酸性气体，经过酸排气配管至入口的静压箱，经过洗涤塔至排放口的静压箱，除去了酸性物质后，经处理过的气体经过排气风机排放到大气中。

洗涤塔有循环泵、循环水流量计、pH计、液位计等监控系统，用氢氧化钠作为中和的化学品，通过测定循环水的pH值来控制氢氧化钠的注入泵开关。经过排气处理的处理水集中排放至工厂的废水处理系统处理，达到工业排放标准后排放。

某FAB的酸性废气处理流程图，采用的多级填料方式，通过循环泵将NaOH溶液加压并不断从喷嘴中以雾状喷出，喷出的NaOH溶液和废气中的酸性物质起中和反应，从而达到净化处理目的，必要时。可以添加NaCIO进行循环水杀菌处理。处理装置中的填料可以分散气流和水流，增加接触面积使酸性物质与NaOH充分接触，提高去除效率，此种处理装置处理效率高，阻力小且比较稳定。酸性废气处理系统入口,浓度分别为20mg，出口浓度都为lmg；HF和HCl人口浓度分别为22.4ppm和12.3ppm，出口浓度分别为1.12ppm和0．62ppm，处理效率可达95％。

另外在此流程中，风机设计在处理装置后，这样风机的轴承与腐蚀性废气隔绝，不易被腐蚀，并且可以确保处理装置连接处不因正压而导致漏风。